珂瑪科技：12英寸靜電卡盤已完成驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)
2025-11-12 12:31
來源: 云財(cái)經(jīng)
影響力評估指數(shù)：24.21
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云財(cái)經(jīng)訊，珂瑪科技(301611)11月12日在互動(dòng)平臺表示，公司先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造(包括存儲芯片)前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散等多種設(shè)備。截至目前，公司12英寸靜電卡盤已完成驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)，12寸多區(qū)加熱靜電卡盤已完成產(chǎn)品開發(fā)，公司正積極推進(jìn)其驗(yàn)證進(jìn)程。
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